点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2015-05-15

发表刊物：真空科学与技术学报

收录刊物：Scopus、EI、ISTIC、CSCD

卷号：35

期号：5

页面范围：589-593

ISSN号：1002-0322

关键字：等离子体浸没离子注入;多脉冲鞘层;等离子体扩散;流体模型

摘要：分别采用低压非稳态扩散流体模型和碰撞流体模型描述了等离子体浸没离子注入平面靶表面过程中等离子体回复扩散和鞘层演化行为,通过数值求解两流体模型研究了不同工作气压下多脉冲鞘层的时空演化动力学特征.计算结果表明,在连续脉冲作用下,开始几个脉冲内的注入离子流和离子碰撞能量较高,几百微秒内迅速降低并达到一个稳定值.多个脉冲作用后的离子注入参数稳定值比初始一个脉冲内的结果更准确,更具理论指导意义.工作气压对初始等离子体密度分布、注入离子流和离子碰撞能量影响显著.较低的工作气压无论对提高离子注入剂量还是离子碰撞能量都是十分有利的.