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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
电子邮箱：mklei@dlut.edu.cn
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等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断
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论文类型：期刊论文
发表时间：1997-12-30
发表刊物：大连理工大学学报
收录刊物：PKU
期号：S2
页面范围：30
关键字：等离子体源;电子回旋共振;大连理工大学;大连工学院;等离子体特性;低能离子;
摘要：等离子体源低能离子注入的等离子体特性诊断吴桂林雷明凯刘延伟马腾才（大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室１１６０２４）张仲麟（大连理工大学材料工程系１１６０２４）采用ＯＥＳ技术系统地研究了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波等离子体源低能氮离子注入的等离子...