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论文类型：期刊论文

发表时间：1999-01-01

发表刊物：金属学报

收录刊物：Scopus、PKU、CSCD

卷号：35

期号：7

页面范围：767

ISSN号：0412-1961

关键字：离子注入; 等离子体; 低能; 传质机制

摘要：等离子体基低能离子注入是一种钢的低温、低压表面改性方法，它包括等离子体源离子渗氮和等离子体源离子渗碳两种工艺等离子体基低能离子注入的主要传质机制是低能离子注入一同步热扩散，即在低脉冲负偏压作用下的离子首先完成不依赖于工艺温度的低能离子注入，然后己注入的原子在较低的工艺温度下发生足够的热扩散等离子体热扩散吸收具有补充的传质作用，但由于工艺温度较低，这种作用很小连续的热扩散过程有利于改善注入吸收条件，等离子体湮没也可以防止已注入原子的反向逸出，二者对传质过程具有促进作用．