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论文类型：期刊论文

发表时间：2016-10-15

发表刊物：真空科学与技术学报

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：36

期号：10

页面范围：1162-1168

ISSN号：1002-0322

关键字：等离子体浸没离子注入;多脉冲鞘层;流体模型;工作气压;占空比

摘要：等离子体浸没离子注入中的等离子体扩散过程和鞘层演化行为分别由低压非稳态扩散流体模型与鞘层碰撞流体模型来进行描述,数值模拟研究了工作气压与占空比对离子注入剂量和能量的影响.计算结果表明,工作气压不变时,随占空比变化,一定时间内的离子注入剂量有极大值,并且极大值对应的占空比会随着工作气压降低而减小.工作气压较高时,占空比越小离子碰撞能量越高;而工作气压较低时,占空比越大离子碰撞能量越高.相同工作气压下占空比对离子注入剂量的影响要比离子碰撞能量显著.