|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
电子邮箱：mklei@dlut.edu.cn
扫描关注
等离子体基离子注入圆管内表面的临界半径研究
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2011-08-08
页面范围：76-76
关键字：等离子体基离子注入;内表面;流体模型;临界半径
摘要：在等离子体基离子注入(PBII)工艺中,针对存在中心等离子体源条件下改性圆管内表面过程,应用离子连续性方程、动量守恒方程、Poisson方程,及电子Boltzmann关系建立了圆管内鞘层时空演化的流体模型,系统研究了等离子体密度、脉冲电压最大幅值和上升时间、本底真空度与圆管有效处理半径间关系。在确定的注入剂量和注入时间下,被有效处理的圆管存在一个最小半径,称其为