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论文类型：会议论文

发表时间：2011-08-08

页面范围：51-51

关键字：等离子基低能离子注入;AISI 420马氏体不锈钢;相结构;εN'马氏体相结构;表面改性

摘要：AISI 420马氏体不锈钢已广泛应用于航天、航空、汽车等工业领域,对耐磨性的要求不断提高。本文采用电子回旋共振(ECR)微波等离子体基低能氮离子注入,即低能1～3 keV、注入剂量速率0.30～0.63 mA cm~(-2)的氮离子注入-同步扩散技术,在工艺温度350～550℃、工艺时间4 h、纯氮气条件下,处理AISI420马氏体不锈钢。通过光学显微镜(OM)、x射线衍射(XRD)分析和电子探针显微