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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2004-07-30
Journal:真空科学与技术学报
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:24
Issue:4
Page Number:271-275
ISSN No.:1672-7126
Key Words:氟化类金刚石(FDLC) 类金刚石(DLC) 进展 沉积 性能
Abstract:氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响.
