Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2004-07-30

Journal: 真空科学与技术学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 24

Issue: 4

Page Number: 271-275

ISSN: 1672-7126

Key Words: 氟化类金刚石(FDLC) 类金刚石(DLC) 进展 沉积 性能

Abstract: 氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响.