Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2005-05-25

Journal: 真空

Included Journals: ISTIC、PKU

Volume: 42

Issue: 3

Page Number: 15-19

ISSN: 1002-0322

Key Words: 类金刚石;氟化类金刚石;结构;性能;应用

Abstract: 氟化类金刚石膜是基于传统类金刚石膜的基础上发展起来的一种改性材料,该膜具有许多良好的性能,包括疏水性能、电学性能、光学性能、机械性能、热稳定性以及生物相容性,因此引起了人们的极大关注.本文介绍了氟化类金刚石膜的结构、性能、应用领域和发展趋势.