刘贵昌
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:化工学院
学科:化学工程. 水科学与技术
办公地点:西部校区化工综合楼A503
联系方式:gchliu@dlut.edu.cn
电子邮箱:gchliu@dlut.edu.cn
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铜基类金刚石膜功能梯度材料作为散热材料的研究
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论文类型:期刊论文
发表时间:2012-02-10
发表刊物:物理学报
收录刊物:PKU、ISTIC、CSCD
卷号:61
期号:5
页面范围:472-478
ISSN号:1000-3290
关键字:铜基体;类金刚石膜;梯度过渡层;热导率
摘要:随着电子技术、信息产业的发展,Cu在微型散热材料、电子封装材料上应用日益广泛.Cu在应用过程中存在强度低、易氧化、易磨损等缺点.采用等离子体复合沉积技术,在铜基体上制备了Ti/TiC/DLC功能梯度材料,改善铜基体与美金刚石(DLC)膜的结合力,强化了铜的机械性能.瞬态热反射法检测结果表明,DLC功能梯度材料不会影响铜基体的散热效果.