论文成果
氟化类金刚石膜结构、性能及应用
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  • 论文类型:期刊论文
  • 发表时间:2022-07-02
  • 发表刊物:真空
  • 所属单位:化工学院
  • 文献类型:J
  • 卷号:42
  • 期号:3
  • 页面范围:15-19
  • ISSN号:1002-0322

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