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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：化工学院
学科：化学工程. 水科学与技术
办公地点：西部校区化工综合楼A503
联系方式：gchliu@dlut.edu.cn
电子邮箱：gchliu@dlut.edu.cn
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液相法新工艺制备类金刚石膜的结构及其电学性能分析
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-11-01
卷号：Vol.38
页面范围：3812-3814
关键字：液相法 类金刚石薄膜 交流阻抗谱 电学性能
摘要：采用液相法,在以硅片为阳极的工艺条件下沉积了一层DLC薄膜。通过Raman和FTIR光谱的分析,证实了该薄膜为含氢类金刚石薄膜(a-C:H)。并且对薄膜的交流阻抗谱(EIS)进行了测试和分析,确定该膜有非常高的阻抗值和良好的耐蚀性。