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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：化工学院
学科：化学工程. 水科学与技术
办公地点：西部校区化工综合楼A503
联系方式：gchliu@dlut.edu.cn
电子邮箱：gchliu@dlut.edu.cn
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氟化类金刚石薄膜的研究进展
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-07-30
发表刊物：真空科学与技术学报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：24
期号：4
页面范围：271-275
ISSN号：1672-7126
关键字：氟化类金刚石(FDLC) 类金刚石(DLC) 进展 沉积 性能
摘要：氟化类金刚石(FDLC)薄膜是在传统类金刚石膜基础上发展起来的一种新型表面改性材料.本文简述了FDLC薄膜的结构、性能,重点介绍了其制备工艺,讨论了源气体的种类和退火工艺对薄膜的影响.