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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：化工学院
学科：化学工程. 水科学与技术
办公地点：西部校区化工综合楼A503
联系方式：gchliu@dlut.edu.cn
电子邮箱：gchliu@dlut.edu.cn
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掺杂对类金刚石薄膜性能的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-01-01
发表刊物：材料导报
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：18
期号：z2
页面范围：310-312,316
ISSN号：1005-023X
关键字：类金刚石(DLC) 掺杂 改性 性能
摘要：类金刚石膜具有良好的机械性能、电学性能、光学性能、摩擦学性能、热学和化学性能以及生物相容性.为了进一步挖掘并改善类金刚石膜潜在性能,人们在类金刚石膜中掺入不同元素并研究了膜性能变化.总结了掺杂对类金刚石膜性能的影响.