微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
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Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2009-12-15
Journal: 江南大学学报（自然科学版）
Included Journals: ISTIC
Volume: 8
Issue: 6
Page Number: 746-752
ISSN: 1671-7147
Key Words: 微电子;光电子;超精密;制造技术
Abstract: 着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距.