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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2009-08-01
Page Number:170-174
Key Words:太阳能硅片;表面活性剂;硅片清洗;作用原理
Abstract:介绍了我国太阳能硅片发展现状及硅片清洗技术,讨论了硅片清洗对表面活性剂的要求及表面活性剂在清洗中的作用原理,综述了表面活性剂在硅片清洗中的应用,并提出了硅片清洗用表面活性剂的发展趋势。
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