location: Current position: Home >> Scientific Research >> Paper Publications

细粒度金刚石砂轮表面磨粒识别研究

Hits:

Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2007-05-15

Journal:大连理工大学学报

Included Journals:Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:47

Issue:3

Page Number:358-362

ISSN No.:1000-8608

Key Words:金刚石砂轮;表面形貌;金刚石磨粒;超精密磨削;识别

Abstract:准确地评价砂轮表面形貌对磨削机理研究、磨削过程优化、磨削过程的建模与仿真等具有重要意义,而准确的磨粒识别是砂轮形貌测量和评价的关键. 对超精密磨削所用细粒度金刚石砂轮磨粒粒径的分布特点和砂轮表面上磨粒的轮廓波长进行了分析. 从采样间隔和取样面积的角度对金刚石砂轮表面三维形貌测量仪器的选择进行了探讨. 应用数字滤波消除砂轮表面三维数字信息中的高频分量,然后提取金刚石磨粒的几何特征,提出了依据磨粒轮廓频率特征、磨粒间距和磨粒曲率半径识别金刚石磨粒的方法. 采用基于扫描白光干涉原理的三维表面轮廓仪?3000金刚石砂轮表面形貌进行了测量,对砂轮表面中包含的金刚石磨粒进行了识别,实验结果证明所提出的磨粒识别方法合理有效.

Pre One:A pad roughness model for the analysis of lubrication in the chemical mechanical polishing of a silicon wafer

Next One:ULSI制造中铜CMP抛光液的技术分析