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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-06-20

发表刊物：材料科学与工程学报

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：24

期号：3

页面范围：382-385

ISSN号：1673-2812

关键字：TiO2薄膜;基片温度;原子力显微镜;表面形貌;表面性能

摘要：利用射频磁控溅射设备在玻璃基片上制备TiO2薄膜,采用AFM、UV-Vis分光光度、接触角测定仪等测试手段,研究基片温度对薄膜表面形貌、粗糙度和表面性能的影响.结果表明,随着基片温度增加,薄膜表面粗糙度增大,薄膜中颗粒由无定形态逐渐向定向排列的晶态转变,而薄膜结构、表面形貌和粗糙度的变化明显影响薄膜表面性能.最后,探讨了薄膜的生长机理.