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论文类型：期刊论文

发表时间：1994-01-01

发表刊物：硅酸盐学报

收录刊物：PKU、CSCD

卷号：22

期号：6

页面范围：546

ISSN号：0454-5648

关键字：离子注入; 氮化硅; 结合力; 硬度; 韧性

摘要：研究了Ｓｉ＿３Ｎ＿４陶瓷及其表面蒸镀Ａｌ膜试样的离子注入效果。结果表明，Ｔｉ高子的注入与Ａｒ离子的注入都可提高Ａｌ膜与陶瓷基体的结合力，并在一定的注入剂量范围内随着注入剂量的增加，Ａｌ膜与陶瓷基体的结合力也有增加的趋势。Ｔｉ离子的注入使表面硬度增加，表面硬度随Ｔｉ离子注入量的增加而提高。Ａｒ离子的注入（１０￣（１５）Ｉｏｎｓ·ｃｍ￣（－２））也使表面硬度增加，但继续增加Ａｒ离子的注入量，表面硬度却下降。根据显微硬度压痕附近的裂纹长度，评价了Ｔｉ离子注入Ｓｉ＿３Ｎ＿４陶瓷表面的断裂韧性。离子注入可改善Ｓｉ＿３Ｎ＿４陶瓷的表面韧性，并且随着离子注入剂量的增加，韧性改善的幅度也变大。