电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析
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Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2002-11-19
Journal: 电工技术杂志
Issue: 11
Page Number: 10-11,23
ISSN: 1672-9560
Key Words: 电弧离子镀 脉冲负偏压电源 负载特性 仿真
Abstract: 通过等离子体物理理论和仿真分析,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法.