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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：化工学院
电子邮箱：hudp@dlut.edu.cn
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超临界流体在微电子器件清洗中的应用
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论文类型：期刊论文
发表时间：2004-05-30
发表刊物：洗净技术
卷号：2
期号：5
页面范围：5-10
ISSN号：1672-2248
关键字：微电子技术;超临界流体;清洗;干燥
摘要：本文介绍了超临界流体及其特性、超临界流体清洗工艺及特点.结合现有的研究结果,论述了在微电子加工中应用超临界流体的可行性和有效性.并以硅片的清洗和干燥为例,说明了超临界CO2的应用优势,指出了超临界流体在微电子技术中尚需要解决的技术问题及其广阔的应用前景.