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论文类型：期刊论文

发表时间：2011-01-01

发表刊物：西安交通大学学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：45

期号：1

页面范围：79-82

ISSN号：0253-987X

关键字：压电探针;局部压电层;纳米硅尖;弹性常数

摘要：为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450 μm×70 μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17 N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.