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论文类型：会议论文

发表时间：2014-07-23

页面范围：136-141

关键字：注塑成型;微器件;合物微器件;接触对刀;成制造

摘要：　　本文以一种平板微器件-微流控芯片制造为研究对象，针对单独的成形工艺难以同时保证器件的宏微尺度误差的难题，提出了新颖的聚合物平板微器件的集成制造方法。首先，设计并制造了一套注塑模具，其中采用双螺纹结构将微镶件和定模架相连，对注塑工艺参数进行优化，制得填充率接近1的平板微器件。然后对平板微器件进行以基于视觉对准的铣削整形、热压整平工序。最后，对器件进行装配和综合测试。实验结果表明：采用本文方法制造的器件，各项精度指标和性能可以满足实际使用要求，工艺成果对同类器件的研发生产提供了借鉴和指导。