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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2016-08-28

Journal: 实验室科学

Volume: 19

Issue: 4

Page Number: 192-194

ISSN: 1672-4305

Key Words: 光刻机;汞灯电源;故障分析维修

Abstract: 汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用.由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一.在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析.通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行.同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理.