Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2002-12-25

Journal: 金属热处理

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 27

Issue: 12

Page Number: 56-59

ISSN: 0254-6051

Key Words: 电弧离子镀;脉冲负偏压电源;等离子体负载;匹配

Abstract: 一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节.介绍了电源的结构和关键技术,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配,提出了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计要求.