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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2002-12-25
Journal:金属热处理
Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD
Volume:27
Issue:12
Page Number:56-59
ISSN No.:0254-6051
Key Words:电弧离子镀;脉冲负偏压电源;等离子体负载;匹配
Abstract:一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节.介绍了电源的结构和关键技术,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配,提出了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计要求.
