电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2002-11-19
发表刊物：电工技术杂志
期号：11
页面范围：10-11,23
ISSN号：1672-9560
关键字：电弧离子镀 脉冲负偏压电源 负载特性 仿真
摘要：通过等离子体物理理论和仿真分析,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法.
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论文类型：期刊论文
发表时间：2002-11-19
发表刊物：电工技术杂志
期号：11
页面范围：10-11,23
ISSN号：1672-9560
关键字：电弧离子镀 脉冲负偏压电源 负载特性 仿真
摘要：通过等离子体物理理论和仿真分析,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法.