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研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：东北师范大学
学位：学士
所在单位：电子信息与电气工程学部
电子邮箱：nhwang@dlut.edu.cn
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电弧离子镀脉冲负偏压电源及其特性的研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2002-12-25
发表刊物：金属热处理
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：27
期号：12
页面范围：56-59
ISSN号：0254-6051
关键字：电弧离子镀;脉冲负偏压电源;等离子体负载;匹配
摘要：一种脉冲负偏压电源是由多个脉冲分量形成的电路串联构成,脉冲的频率和占空比直接在高压侧调节.介绍了电源的结构和关键技术,并结合薄膜沉积试验中的电压、电流波形和计算机仿真分析,探讨了电源和电弧离子镀的等离子体负载间的匹配,提出了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计要求.