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用多功能光栅光谱仪测定GaN膜的光学参数

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2001-05-20

Journal:大学物理

Included Journals:PKU

Volume:20

Issue:5

Page Number:36-39

ISSN No.:1000-0712

Key Words:光谱仪;GaN;吸收系数;折射率;消光系数

Abstract:介绍了用多功能光栅光谱仪测量GaN膜的吸收系数、折射率等光学参数的方法,并对结果进行了分析比较.

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