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用多功能光栅光谱仪测定GaN膜的光学参数

Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2001-05-20

Journal: 大学物理

Included Journals: PKU

Volume: 20

Issue: 5

Page Number: 36-39

ISSN: 1000-0712

Key Words: 光谱仪;GaN;吸收系数;折射率;消光系数

Abstract: 介绍了用多功能光栅光谱仪测量GaN膜的吸收系数、折射率等光学参数的方法,并对结果进行了分析比较.

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