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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-06-30

发表刊物：半导体光电

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：26

期号：3

页面范围：212-215

ISSN号：1001-5868

关键字：中频磁控溅射;掺铒Al2O3薄膜;镱铒共掺Al2O3薄膜;光致发光特性

摘要：用中频磁控溅射工艺分别制备了掺铒Al2O3薄膜和镱铒共掺Al2O3薄膜,室温下测量了它们的光致发光特性.结果表明:镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光的峰值强度为掺铒Al2O3薄膜的8倍以上, 两者的半值宽度近似相等;泵浦功率增强,掺铒 Al2O3薄膜光致发光强度出现饱和趋势,但镱铒共掺Al2O3薄膜的光致发光强度随泵浦功率线性增加.