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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2006-11-01
Page Number:490-492
Key Words:金属有机化学气相沉积;ZnO薄膜;电致发光;二乙基锌
Abstract:我们采用自行设计的等离子体增强MOCVD系统,利用经特殊设计的反应室,以二乙基锌(DEZn)和O2作为锌源和氧源,分别通过几种途径,获得了p-ZnO薄膜.并且在此基础上,初步制备了ZnO的同质结器件,并观测到了电致发光.
Pre One:脉冲激光沉积(PLD)法生长高质量ZnO薄膜及其发光性能
Next One:超声喷雾热解法生长氧化锌基发光原型器件研究
