Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2006-11-01

Page Number: 490-492

Key Words: 金属有机化学气相沉积;ZnO薄膜;电致发光;二乙基锌

Abstract: 我们采用自行设计的等离子体增强MOCVD系统,利用经特殊设计的反应室,以二乙基锌(DEZn)和O2作为锌源和氧源,分别通过几种途径,获得了p-ZnO薄膜.并且在此基础上,初步制备了ZnO的同质结器件,并观测到了电致发光.