Hits:

Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2011-04-15

Journal:微纳电子技术

Included Journals:PKU、ISTIC

Volume:48

Issue:4

Page Number:264-268,273

ISSN No.:1671-4776

Key Words:悬臂梁阵列 并行扫描 原子力显微镜(AFM) 微弱信号检测 压电

Abstract:分析了阵列悬臂探针并行扫描的工作方式,以非接触磁力模拟样品与悬臂梁间的范德华力,研究了1×2阵列压电悬臂梁的并行扫描和驱动控制方法.每一压电梁均集成了微位移致动器和力传感器,在320 Hz一阶共振频率下振动.实验表明:在0.2～1.0 mm力作用区内,压电梁自由端每接近模拟样品0.1 mm,表征悬臂梁振幅的锁相放大器输出电压减小1.7 mV,但微力传感在扫描的升回程存在迟滞;致动器的控制电压每增加10 V使锁相放大器输出减小约3 mV,表明集成的致动器可调节压电梁与样品间的间距.两压电梁的电荷-位移响应曲线、间距调节灵敏度均不完全一致,讨论了阵列悬臂梁一致性问题和阵列规模大小问题.