基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作
Release Time:2022-11-13 Hits:
Date of Publication: 2022-10-10
Journal: 中国机械工程
Volume: 16
Issue: z1
Page Number: 467-468
ISSN: 1004-132X
Note: 新增回溯数据
Release Time:2022-11-13 Hits:
Date of Publication: 2022-10-10
Journal: 中国机械工程
Volume: 16
Issue: z1
Page Number: 467-468
ISSN: 1004-132X
Note: 新增回溯数据