单轴应力下热氧化SiO2的介电电致伸缩系数研究
Release Time:2022-11-13 Hits:
Date of Publication: 2022-10-09
Journal: 微纳电子技术
Institution: 电子信息与电气工程学部
Issue: 5
Page Number: 302-305,312
ISSN: 1671-4776
Note: 新增回溯数据
Release Time:2022-11-13 Hits:
Date of Publication: 2022-10-09
Journal: 微纳电子技术
Institution: 电子信息与电气工程学部
Issue: 5
Page Number: 302-305,312
ISSN: 1671-4776
Note: 新增回溯数据