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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2016-04-15

Journal:压电与声光

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:38

Issue:2

Page Number:203-206

ISSN No.:1004-2474

Key Words:压电俘能器;雾化沉积;悬臂梁;柔性基底;不锈钢

Abstract:由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器.304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极.不锈钢基底厚为30 μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5μm厚的压电材料,通过对压电材料XRD表征,得到了在(110)晶向择优取向的钙钛矿结构.设计了长20 mm、宽5 mm压电悬臂梁结构俘能器.实验表明,压电俘能器的谐振频率为81Hz,当加速度为0.69 g(g=9.8 m/s2)时,输出开路电压峰-峰值为1.3V;负载电阻为260 kΩ时,输出功率最大(为0.758 μW),对应的功率密度为3.19 mW·cm-3· g-2.