Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2016-04-15

Journal: 压电与声光

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 38

Issue: 2

Page Number: 203-206

ISSN: 1004-2474

Key Words: 压电俘能器;雾化沉积;悬臂梁;柔性基底;不锈钢

Abstract: 由于硅基底断裂韧性低及压电厚膜有利于提高俘能器输出功率,因此,该文提出在304不锈钢基底上制备PZT压电厚膜俘能器.304不锈钢薄片既作为基底又作为下电极,金属Pt/Ti结构作为上电极.不锈钢基底厚为30 μm,采用电流体驱动雾化沉积制备5μm厚的压电材料,通过对压电材料XRD表征,得到了在(110)晶向择优取向的钙钛矿结构.设计了长20 mm、宽5 mm压电悬臂梁结构俘能器.实验表明,压电俘能器的谐振频率为81Hz,当加速度为0.69 g(g=9.8 m/s2)时,输出开路电压峰-峰值为1.3V;负载电阻为260 kΩ时,输出功率最大(为0.758 μW),对应的功率密度为3.19 mW·cm-3· g-2.