Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2008-08-15

Journal: 压电与声光

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 30

Issue: 4

Page Number: 492-494

ISSN: 1004-2474

Key Words: PZT压电薄膜;无阀微泵;PDMS泵膜;收缩管/扩张管

Abstract: 介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变.在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响.在7.5 V、180 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05 μL/min.该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求.