论文成果
NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟
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- 论文类型：期刊论文
- 发表时间：2008-09-15
- 发表刊物：仪表技术与传感器
- 收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
- 文献类型：J
- 卷号：1
- 期号：9
- 页面范围：15-17
- ISSN号：1002-1841
- 关键字：薄膜热电偶;磁控溅射;瞬态切削温度;有限元
- 摘要：采用磁控溅射法,在刀具材料为w18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NjCr/Nisi薄膜热电偶.传感器既能满足切削要求,同时又能够快速采集温度信号,并对其进行了静态和动态标定,实验范围内线性误差为O.56%,时间常数为12.7 ms,响应迅速,满足实验要求.最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分布进行了有限元仿真.并通过实验进行了验证.
