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用发射光谱法测量ECR等离子体的特性

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1998-12-15

Journal:量子电子学报

Issue:06

Page Number:599-600

ISSN No.:1007-5461

Key Words:发射光谱法;ECR;原子线;子谱;微波功率;电子温度;原子谱线;谱线强度;激发态原子;光谱测量;

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