Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2015-04-20

Journal: 物理实验

Included Journals: PKU

Issue: 4

Page Number: 12-17

ISSN: 1005-4642

Key Words: 残余气体分析仪;输运效应;质谱峰强

Abstract: 使用Q M S‐200残余气体质谱分析仪，分别以空气、空气／氩气混合气体为样品，研究了质谱仪的进样输运效应。利用空气／氩气混合气体作为标准样品，进行了质谱峰强对浓度的标定，获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系。研究发现：由于输运过程，注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同，样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同。