平面磁控溅射靶磁场的计算
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2008-05-15
Journal: 真空科学与技术学报
Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU、EI
Volume: 28
Issue: 3
Page Number: 271-274
ISSN: 1672-7126
Key Words: 磁控溅射;磁场;有限元法
Abstract: 精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场.