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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2008-05-15
Journal:真空科学与技术学报
Included Journals:EI、PKU、ISTIC、CSCD
Volume:28
Issue:3
Page Number:271-274
ISSN No.:1672-7126
Key Words:磁控溅射;磁场;有限元法
Abstract:精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场.
