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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2002-10-30

Journal:光学精密工程

Included Journals:ISTIC、CSCD

Volume:10

Issue:5

Page Number:471-475

ISSN No.:1004-924X

Key Words:串联压电双晶片;压电微电机;机理

Abstract:把两片压电双晶片(PZT Bimorph)串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率的方波信号驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动与其端面相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机,并且对样机的性能参数进行测试,转速可以达到110rpm,输出转矩可以达到22.5μNm.