纵弯式压电微电机优化设计研究
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Conference Paper
Date of Publication: 1999-11-25
Page Number: 168-169,174
Key Words: 压电微电机;驱动机理;优化设计
Abstract: 近似认为仅与驱动臂低阶共振频率相近的协波决电机的输出特性，建立了压电微电机的输出特性与电机结构关系的模型和优化设计压电微电机的结构的方法。制作了Φ5mm的纵弯式压电微电机，进行了实验研究。