Hits:
Indexed by:会议论文
Date of Publication:1999-11-25
Page Number:168-169,174
Key Words:压电微电机;驱动机理;优化设计
Abstract:近似认为仅与驱动臂低阶共振频率相近的协波决电机的输出特性，建立了压电微电机的输出特性与电机结构关系的模型和优化设计压电微电机的结构的方法。制作了Φ5mm的纵弯式压电微电机，进行了实验研究。
Pre One:显微立体成像微操作系统的研究
Next One:可变力形状记忆合金薄膜微夹钳的研究
