基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Conference Paper
Date of Publication: 2005-08-13
Volume: Vol.16
Page Number: 467-468
Key Words: PZT压电薄膜;集成;微悬臂梁
Abstract: 本文设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.