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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2003-08-25
Journal:微纳电子技术
Volume:40
Issue:7
Page Number:87-91
ISSN No.:1671-4776
Key Words:MEMS;拓扑优化;微机构
Abstract:简要介绍了MEMS的设计现状和拓扑优化方法,并根据MEMS中微机构的特点,概述了拓扑优化方法在微机构中的应用.最后以微夹钳为例,对不同负载、不同约束情况下微夹钳结构进行了拓扑优化设计.
Pre One:拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用
Next One:集成毛细管电泳芯片研究进展
