拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2003-08-25
Journal: 微纳电子技术
Volume: 40
Issue: 7
Page Number: 87-91
ISSN: 1671-4776
Key Words: MEMS;拓扑优化;微机构
Abstract: 简要介绍了MEMS的设计现状和拓扑优化方法,并根据MEMS中微机构的特点,概述了拓扑优化方法在微机构中的应用.最后以微夹钳为例,对不同负载、不同约束情况下微夹钳结构进行了拓扑优化设计.