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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-01-15

Journal:中国机械工程

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:16

Issue:1

Page Number:83-88

ISSN No.:1004-132X

Key Words:MEMS;动态测试;微结构;光学测试

Abstract:MEMS功能主要通过微结构部件的微小位移和变形实现,故其动态性能测试至关重要,但MEMS结构由于其尺寸小,传统的动态测试方法已经难以达到要求,而光学测试技术是非接触测量,且具有定位准确、测试精度高、响应快的特点,使其在MEMS结构动态测试中发挥着越来越重要的作用.介绍并分析了频闪显微干涉、计算机微视觉、激光多普勒测振、电子散斑干涉和光纤测试等MEMS动态测试技术,讨论了其应用场合和测试范围.