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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2005-01-01
Journal:中国机械工程
Included Journals:PKU、ISTIC
Volume:16
Issue:z1
Page Number:372-374
ISSN No.:1004-132X
Key Words:PZT薄膜 微力传感器 标定 双晶片
Abstract:采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.
