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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2005-01-01

Journal:中国机械工程

Included Journals:PKU、ISTIC

Volume:16

Issue:z1

Page Number:467-468

ISSN No.:1004-132X

Key Words:PZT薄膜;压电;集成;微悬臂梁

Abstract:设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.