硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Papers
Date of Publication: 2004-12-30
Journal: 仪器仪表学报
Included Journals: ISTIC、PKU
Volume: 25
Issue: z1
Page Number: 194-196
ISSN: 0254-3087
Key Words: 硅基PZT薄膜;微型悬臂;特;性;应;用
Abstract: 在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元.这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明.