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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2001-09-01
Page Number:98-98
Key Words:微机电系统;微米机械;系统功能;系统技术
Abstract:本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.
Pre One:组合内窝孔精密排种器充种过程分析
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