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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2003-09-20
Journal:传感器技术
Included Journals:PKU、CSCD
Volume:22
Issue:9
Page Number:78-80
ISSN No.:1000-9787
Key Words:湿敏元件;感湿机理;复阻抗法;等效电路
Abstract:用复阻抗方法对硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理进行了分析.实验测量了湿敏元件在不同相对湿度下的复阻抗特性曲线及阻抗、电容等参数随频率的变化曲线.分析出相应的等效电路,推导了等效电路有关参数,分析讨论了纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理.低湿时,感湿材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水分子共同起作用;高湿时,吸附的水分子电离和极化起主要作用.
