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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2007-08-06
Page Number:14-15
Key Words:电极;有限元分析;湿度传感器;电场分布;ANSYS软件;CMOS工艺
Abstract:结合CMOS工艺对湿度传感器电极的要求，针对三种常见的电极，使用ANSYS软件建立了有限元分析模型.考察了三种不同形状的电极在相同条件下，极板间电容的大小和电场分布情况，并对仿真结果进行分析比较，设计了一款适合CMOS湿度传感器的叉指电极.
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