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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-01-20

发表刊物：传感技术学报

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：22

期号：1

页面范围：6-10

ISSN号：1004-1699

关键字：SnO2薄膜;溶胶凝胶;平面工艺;气敏元件

摘要：用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s.